天津万柔科技斩获SID中国区显示行业奖“Start-Up专区成果奖”

2024 ICDT（国际信息显示学会）在合肥举行，并于4月3日举行SID中国区显示行业奖颁奖仪式。

天津万柔科技“基于柔性探针阵列的microLED 电致发光检测设备”，斩获“Start-Up专区成果奖”二等奖。

SID中国区显示行业奖（CDIA，China Display Industry Award）是显示行业重要的年度奖项，旨在表彰国内最具新颖性、卓越性与突破性的产品与技术。评审结果由SID北京分会技术委员会组成的专家评审组和ICDT参会者进行现场网络投票，再经奖项委员会审核，最终确定奖项得主。

Start-Up专区成果奖

二等奖   天津万柔科技有限公司

基于柔性探针阵列的microLED 电致发光检测设备

       万柔科技首创接触式无损晶圆检测柔性探头阵列。柔性探头具有可逆形变、高密度、低表面磨损、高接触可靠性等优点，能够满足miniLED、microLED等阵列式晶圆、FPGA、CPU等复杂芯片和各类柔性晶圆的检测需求。在柔性高密度三维电极阵列的研制中实现了国际领先，完成了从0到1的源头创新，实现了可扩展至10000个测量点位的柔性探头。团队还研制了与探头配合使用的精密测试设备，包括了精密的对准机构、闭环下压反馈机构等，可实现探头和芯片的同步对准观察，多轴的平移，重复定位精度优于10 μm，移动精度达到亚微米级。

       相比传统的刚性探针卡，基于柔性电子技术的柔性探针卡具有以下优势：首先柔性探针阵列具有自适应测量环境的优点，柔性探针可以适应不同形状、大小和弯曲的表面，更适合在复杂的生产测试环境对各类芯片进行测量。柔性探针通过形变，可以更加紧密地压合在被测器件表面，从而更准确地测量和控制被测器件地性能，避免因为探针与器件的接触问题产生信号波动。柔性探针卡可以避免因机械冲击和振动引起的不稳定性，从而提高测试和生产的可靠性。由于柔性探针卡采用较软的材料制成，可以避免对被测试器件造成损伤，从而更加安全可靠。由于柔性探头可以采用CMOS技术进行并行同步加工，因此探头成本不会因为探头数量的增加而显著增加。柔性探头阵列除了在芯片检测领域的应用外，未来还可以扩展到医疗、机器人、生命科学等领域，实现高密度信号传感功能。