万柔科技  ONEROLE TECH

MicroLED柔性检测探头和系统

一款面向MicroLED晶圆级高通量电致发光（EL）检测的创新型解决方案。该系统采用三维柔性探针头（3D-FPH），由弹性微柱与铜穹隆触点构成梯度结构，可在0.91 MPa的超低接触应力下实现可靠电气连接，较传统刚性探针的接触应力低两个数量级，从根本上避免了对LED电极的表面损伤。
系统支持32×32探针阵列，可同时测量1,024颗MicroLED，单次检测仅需0.5秒，理论检测速度可达180万像素/小时。其自适应变形能力可容忍5 μm全局高度差和2 μm局部高度差，确保晶圆翘曲条件下的稳定接触。经验证，该探针头可承受超过100万次重复接触测试而无明显磨损，同时支持I-V曲线、发光强度、峰值波长、色坐标等多参数并行采集，为MicroLED提供了关键检测手段。
产品详情

三维柔性探针头结构：弹性微柱支持自适应变形，可容忍5 μm全局高度差和2 μm局部高度差

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超低接触应力：柔性探针接触应力仅0.71~0.91 MPa，避免表面划伤

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高通量并行检测：32×32探针阵列，0.5秒内完成1,024颗MicroLED的EL检测，理论速度达180M像素/小时

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多参数同步测量：可同时获取I-V曲线、发光强度分布、峰值波长、CIE色坐标及半高宽（FWHM）

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全彩MicroLED支持：适用于红、绿、蓝MicroLED，色域覆盖达sRGB的98.5%，可检测驱动电流导致的光谱红移/蓝移

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超长使用寿命：经历100万次重复接触测试后，探针形貌无明显磨损，驱动电压波动小于0.7%

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系统集成与对准：集成激光位移传感器、力传感器、同轴光谱采集及被动矩阵驱动，支持自动对准与扫描

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